有机金属中空镀膜系统询价采购
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| 项目编号 | CG202406110001 | ||
| 项目名称 | 有机金属中空镀膜系统询价采购 | ||
| 预算金额(元) | ￥340000.00 | ||
| 签约时间 | 成交公告发布后5个工作日内签订合同 | ||
| 到货时间 | 合同签署后90个工作日内到货 | ||
| 联系人 | 贾露建 | 联系电话 | 13370879509 |
| 邮箱地址 | jialj@qibebt.ac.cn | ||
| 付款方式 | 合同签订后 1-2 周内付清设备全额款项 | ||
| 产品名称 | 有机金属中空镀膜系统 | ||
| 品牌名称 | 苏州方晟光电 | 规格型号 | FS380-S6 |
| 采购数量 | 1 | 是否允许采购进口产品 | 否 |
| 技术指标 | （一）主要技术参数要求 1、整体性能 1）采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动，采用优质进口铝型材搭建； 2）机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定设备。 2、样品台 ★1）样品架夹具可以固定1个120mm x120mm有效蒸镀面积的基片托，可容纳16个尺寸20mm*20mm的基片，提供1套基片盘。 2）基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度0-30转/分可调； 3）提供1套掩膜板，图案根据客户要求设计，样片与掩膜板的配合间隙小于0.3mm； 4）样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性； 5）挡板采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制。 6）基片盘附近有实时的温度检测。 3、蒸发源 ★1）共6组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板； ★2）配1套进口蒸发电源，功率为1.4KW及以上，最高升温温度可达1500℃，电流驱动加热形式，可精确到0.1A，实现蒸镀速率0.01 A/S的精度显示，可以电流模式和电压模式任意切换。 3）有机和金属蒸发源均带有水冷功能。 4、膜厚测量系统 ★1）采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度；膜厚精度误差在正负0.01A/S；可以显示4个膜厚探头的读数。 2）石英晶振探头2个，2个水冷探头位于基片盘两侧。 5、蒸发腔体 1）腔体采用SUS304不锈钢制作，其内部尺寸约为380×380×530mm； 2）腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为推拉门，用于连接手套箱。一个为旋转开启，用于维护清理； 3）腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度小于等于0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度小于等于0.8；整体要求美观，无擦伤及划痕； 4）腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。 6、蒸镀真空系统 ★1）极限真空优于： 4×10-5pa； 2）主泵抽速不低于700L/S，采用分子泵； 3）前级泵抽速不低于15 m3/h； 4）气动高真空插板阀，通径大于等于150mm； 5）带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作； 6）腔体充氮气，从常压抽至5×10-4pa的时间要求不超过15分钟。 7）提供腔体RGA分析报告。 7、蒸镀软件控制系统 1）采用PLC+触摸屏控制模式； 2）真空系统的控制分为手动和自动二种模式。自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵、阀的启闭； 3）带有膜厚测量控制屏，可通过膜厚仪触摸屏的相关操作； 4）带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温、降温，也可手动输入控制数据； 5）带有伺服控制模块，可完成旋转速度，旋转角度，定位角度的控制； | ||
| 售后服务要求 | 求 承诺对仪器设备免费保修 1 年。即用户在正常情况下使用该仪器设备， 由于仪器设备制造工艺、选料和零部件缺陷而导致的质量问题，负责免费维修或更换。仪器设备如需返送到生产厂家进行维修。 承诺在仪器设备硬件及软件的完整生命周期内，提供技术支持，解答疑问，协助解决实际问题。 在完整的生命周期内，享有仪器设备系统软件的免费维护和升级。 使用仪器设备及其配套设备的过程中遇到技术、故障等问题时，乙方需在第一时间予以明确回复，36 小时内上门进行故障排除或维修。 | 销售资质需求 | |
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